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晶圓級CSP封裝技術趨勢與展望
2019.6.4

文章来源:由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.eepw.com.cn/article/209592.htm"

晶圓級CSP封裝(WLCSP)技術不同于傳統的切割、芯片粘貼、引線鍵合、模塑的封裝流程,它在結束前端晶圓制作流程的晶圓上直接完成所有的操作。在封裝過程中再將芯片從晶圓上分離,從而使WLCSP可以實現與芯片尺寸相同的最小的封裝體積,這幾乎是最終的封裝縮微技術。自1998年可行性的WLCSP技術宣布以來,近年市場上已經出現了各種不同類型的WLCSP。這種技術已經使用在移動電子設備中,比如用于移動電話的電源供給芯片,并且延伸到邏輯產品的應用中。WLCSP技術分類WLCSP主要有三種形式(圖1),即樹脂封裝類型(withEpoxyResinEncapsulation)、無樹脂封裝類型(woEpoxyResinEncapsulation)和玻璃類型(withglassType)。樹脂封裝類型自從1998年面世以來,就成為最普遍的一種形式。它的結構類似于常規FBGA(FinePitchBallGridArray)塑膠封裝。由于表面環氧樹脂封裝了表層,它可以使用常規的回流焊工藝,貼放在印刷電路板(PCB)上。無樹脂封裝類型又被稱作倒裝芯片類型。為了保護芯片表面和提高可靠性,芯片表面“生成”有一層薄的有機體或玻璃薄膜層。近年來,由于防潮性能提高,這種類型也已經采用在傳統的回流焊工藝中。玻璃類型是指在芯片表面有玻璃的結構,它應用于CCD和C-MOS傳感器中。WLCSP技術和工藝在WLCSP中,傳統封裝中使用金線進行電路連接的方法被取而代之,而采用光刻和電鍍技術在晶圓上進行電路的刻印。以下流程是對已經完成前道工藝的晶圓進行WLCSP封裝的操作步驟,必要時需要重復這些步驟:●隔離層流程(IsolationLayer)●接觸孔流程(ContactHole)●焊盤下金屬層流程(UBMLayer)●為電鍍作準備的光刻流程(PhotolithographyforPlating)●電鍍流程(Plating)●阻擋層去除流程(ResistRomoval)在上述電路刻印流程完成后,需要在表面再生成一層防護層,然后進行其它流程,包括終端成型(TerminalFormation)、打標(Marking)、電性能測試。在最后的工序中進行芯片分割,從而結束整個流程。最后的電性能測試可以在晶圓級進行,也可以在切割后進行。電路刻印技術WLCSP的電路生成使用了光刻和電鍍技術。2000年樹脂封裝類型的WLCSP開始大量生產時,線路圖形的線寬和間隙大約是5050um。現在,精細刻印已經發展到約1515um,而且55um級別的也已經在研發中。精細的線路刻印能力直接關系到WLCSP的兩個特性——引腳數量和高性能。由于WLCSP在芯片表面形成終端連接,高的引腳數量意味著窄的終端寬度。因為芯片的終端引線焊腳多是為常規的引線鍵合技術設計的,WLCSP的量產通常需要將周邊的鍵合襯墊進行再分布的流程(RedistributionProcess),即刻印流程(PatternProcess),線路生成在表面的區域陣列焊盤之間。線路和間隙的設計規則可由下列公式得出(圖2):LS=P2(2n+1)。回流焊相關文章:回流焊原理

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